СЕДОВ АНАТОЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  (и) 458707 ОПИС ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 28.02.72 (21) 1752878 25-28 с присоединением заявки № (32) Приоритет Опубликовано 30.01.75. Бюллетень № 4 Дата опубликования описания 18.03.75 (51) М. Кл. G 01Ь 11/26 осударственный комитет Совета Министров СССР по делам изобр...

  ОП ИСАНГИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ и) 480029 Союз Советских Социалистических Республик Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 21.07.72 (21) 1812117/26-25 с присоединением заявки— (23) Приоритет— Опубликовано 05.08.75. Бюллетень № 29 Дата опубликования описания 25.03.76 (51) М, Кл, С 01г31/26 Государственный комитет Совета Министров СССР по д...

  Союз Советских Социалистических Республик ОПИСАНИЕ„„ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.02.73(21) 1883838/25 с присоединением заявки №(23) Приоритет (43) Опублнковано05.03.77.Бюллетень № 8 (45) Дата опубликования описания 26.04.77 (ы) м. к Я 01 3 3/28 Гасударственный комитет Совета Министров СССР ао делам изобретений и...

  б.,бл Qtå э ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ фф Ял. к 1 (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.09.76 (21) 2401432/25-06 с присоединением заявки ¹ (51) М. Кл. F 15В 15/00 Государственный комитет (23) Приоритет Совета Министров СССР (43) Опубликовано 30.10.78. Бюллетень № 40 по дела..л изобретений (53) УДК...

  8) Ю. И. Урывский, К. A. Лаврентьев, А. А. Чуриков и А. Н. Седов t (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩИННОСТИ ПРОЗРАЧНОЙ В ВИДИМОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ПЛЕНКИ, НАНЕСЕННОЙ НА ОТРАЖАЮЩУЮ ПОДЛОЖКУ Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и экспресс-анализу технологических процессов и материалов, применяемых в фотолитограф и, и може...

  (72) Авторы изобретения А.А. Лучин, A.Н. Седов, H.Н. Кузнецова, )ТЛ3-.:-Корочкина и И.В. Кондратьева 1 . 1 (7l) Заявитель 154) КАТОД ПРЯМОГО НАКАЛА Изобретение относится к электронной мехнике, преимущественно к катодам для ЭВП. Известны катоды прямого накала для ЭВП в виде проволоки или ленты, покрытые, например, слоем оксида, тол- 5 щиной 60-100 мкм. В этом случае раз\ ме...

  ОП ИСАНИЕ ИЗЬВРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (iii928324 Союз Советских Социалистических Республик (6I ) Дополнительное к авт. свил-ву (22) З 07. 04. 80 (21) 2Э05887/2Ц-07 с присоединением заявки РЙ(23) Приоритет(5I)M. Кл. G 05 F 1/58 3Ъеударстеенньй комитет СССР No делеи изабретенкхй н открытий Опубликовано 15.05:SZ. Бюллетень ¹18 Дата опубликованмя описания 15.05.8...

  ЛАЗЕРНЫЙ ЙРОФИЛОГРАФ,: Сидержащий лазер и расположенные по ходу луча лазера два светоделителя., блок сканирования луча лазера, индикатор луча лазера, координатночувствительный приемник, визир и; Предметный столик, от л и ч а ю щ и йен тем, что, с целью упро- . щения конструкции и возможности контроля профиля по двум координатам , блок сканирования выполнен в виде двух четырехгран...

  КООРДИНАТНО-ЧУВСТВИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО, содержащее светоделитель И фотоприемники, о т ли чающееся тем, что, с целью повыiiteHHjt точности и конструкции , светоделитель выполнен в виде четырех светоделительных пластин с коэффициентами отражения светового потока соответственно 0,25 0,33, 0,5} 1,0, последовательно установленных по ходу светового потока, а между этими пластинами и фот...

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НЕГШОСКОСТНОСТИ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащее источник излучения и установленные последовательно сканирзтащий блок, выполненный в виде зеркала с приводом, интерферометр, регистратор , аналого-цифровой преобразователь ЭВМ и блок управления, о т л ичающееся тем, что, с целью повышения производительности контроля , оно снабжено тремя блоками измерения параметро...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА ИНФОРМАЦИИ В ПРОЦЕССОР, содержащее группу регистров, соединенных последовательно , информационный вход первого регистра является информационным входом устройство, информационный выход которого через коммутатор соединен с выходом последнего регистра группы, узел начальной установки, выход которого соединен с первыми входами злементов И первой группы, выход каж...

  Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - возможность контроля пластин большого диаметра за счет уменьшения монохроматических аберраций (астигматизма ) . Контролируемую полупроводниковую пластину 12 размещают на предметном столике 4 и фиксируют ее.Включают лазер 1 и приводы вращения четьфехгранной призмы 5 и предметного столика 4. Излучение лазера 1 посред...

  СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (504 G 02 В 21 26 1 ф; ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ j 1:- .1 ВМ"10 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3867043/24-10 (22) 15. 03. 85 (46) 07. 11. 86. Бюл. 1"- 41 (72) А. Н. Седов (53) 535.823(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР Ф 862103, кл. G 02 В 21/26, 1981 Микроскопы./Под...

  Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля толщины эиитаксиальных пленок Цель изобретения - повышение точности и быстродействия измерения - достигается обеспечением работы интерферометра в сходящихся пучках, что позволяет уменьшить размеры оптических деталей интерферометра . Измеряемый образец помещают на предметньй столик 7. От источника 2...

  Изобретение относится к измерительной технике и 1иожет быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки. Целью изобретения является повышение точности. Свет от источника 1 проходит через конденсор 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на пленку 9, отражаясь от которой,...

  Изобретение относится к приборостроению и предназначено для использования в системах автоматического контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве. Цель изобретения - повышение быстродействия и точности позиционирования пластины. Блок 14 управления включает приводы 12, 13, которые осуществляют перемещение пластины 11 по осям X, Y. Далее сигнал с блока 14 управления по...