ОСИПОВ КИРИЛЛ АФАНАСЬЕВИЧ

  Li Г О П И С А Н И Е пп 469992 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.04.73 (21) 1910095/18-24 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 05.05.75. Бюллетень № 17 Дата опубликования описания 05.08.75 (51) М. Кл, G 11с 11/42 Государственный комитет Совета MNHNGTpOB...

  (72) Авторы изобретения К.А.Осипов и Г.Э.Фолманис (71) Заявитель Институт металлургии им. А.А.Байкова (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Изобретение относится к вакуумным методам нанесения покрытий, .а именно к устройствам для нанесения покрытий, и может быть использовано для нанесения защитных покрытий на поверхность изделий и в микроэлектронике для получения тонких плено...