КЕЛЬБЕРТ С.Л.

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ, БЫ 475082 А1 РЕСПУБЛИК

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК , С 23 С 14/34 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н Д BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ тору и увеличение длительности работы устройства. Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве на внутренней поверхности каналообразного электрода выполнены лабиринтные пазы. На фиг.1 изображено описываемое устройство в разрезе; на фиг.2 - то же, электрод собран...

  СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖИ С РАЗВИТОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ, включающий создание атомарного потока наносимого материала его термическим испарением, рассеяние атомарного потока и осаждение на подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, рассеяние атомарного потока осуществляют термическим испаре-. нием, неравномерно нагревая наносимый материале...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СО ЦИАЛ И СТИЧ ЕСКИХ РЕСПУБЛИК (51) 5 В 23 к 9/16; н 05 B 7/18; H 01 J 37/30 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А8ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2684510/27 (22) 16 .11.78 (46) 30.10.92, Бюл. 8 40 (71) Институт электроники им. У.А.Арифова Академии наук Узбекской ССР (/s) M ° X.Эстерлис, В.Н,Арустамов, P.Б.Нагайбеков, Э.Х.Эстерлис, С.Л.Кельберт, В.Е.Булат и П.Жуматаев (53) 6...

  СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, включающий очистку поверхности подложки, испарение материала покрытия и осаждение его на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий без структурных изменений обрабатываемой поверхности и упрощения технологического процесса, в процессе осаждения материала покрытия осуществляют обработку покрываемой поверхности дуговым...