ПЕРЕВЕРЗЕВ АЛЕКСЕЙ ПЕТРОВИЧ

  СО|ее Oоеетсг. нх К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 05.02.74 (21) 2004008/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет Опубликовано 15.12.75. Бюллетень № 46 Государственный комите. Совета Министров СССР оо иевзм изооретений и отнрытий (53) УДК 535.854(088.8) 1 1 Дата опубликования описания 30.06.76 (72) Автор изобретения А. П. Пер...

  О П И С А Н Й- E ИЗОБРЕТЕНИЯ (й1 622I55 Сони Ссеетсиих Социалистических Республик Б АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.03.77 (21) 2467358/18-10 с присоединением заявки № (51) М, Кл.е G 11В 11/08 Уд Рс венный комитет (23) Приоритет Совета Министров СССР оет „„„. (43) Опубликовано 30.08.78. Бюллетень № 32 (53) УДК 681.84.083..84 (088....

  6377б6 Формула изобретения Составитель В. Белоусов Редактор Л. Тюрина Техред О. Луговая Корректор Л. Веселовская а к вз 7 I 02/37 Тирам 579 - Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета .Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий I !3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал, ПГ!П «Патент», г. Ужгород. ул. Проектная, 4 кой снстемы, например медн нлн серебра, а...

  Изобретение относится к электротехнике , в частности к облучательному прибору. Цель изобретения - повышение качества отвержденного слоя, например фоторезиста, за счет увеличения равномерности распределения светового потока по подложке и повышение скорости процесса. Облучательный прибор содержит корпус .1, в котором размещены безэлектродный высокочастотный источник 2 света, конусн...