Фотошаблон
Иллюстрации
Показать всеРеферат
СО|ее Oоеетсг. нх
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 05.02.74 (21) 2004008/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опубликовано 15.12.75. Бюллетень № 46
Государственный комите.
Совета Министров СССР оо иевзм изооретений и отнрытий (53) УДК 535.854(088.8) 1
1 Дата опубликования описания 30.06.76 (72) Автор изобретения
А. П. Переверзев (71) Заявитель (54) ФОТОШАБЛОН
Подложка в местах прозрачных элементов через один интерваl имеет толщину, измененную на величину
5 Ad (2m+ 1)
2н где и — показатель преломления материала подложки; и — целое число; . . — длина волны излучения.
Формула изобретения
Фотошаблон, выполненный в виде прозрач15 ной подложки с повторяющимися прозрачнымп и непрозрачными элементами, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, в нем через интервал на прозрачные элементы установлены полу20 волновые пластины.
Изобретение может быть использовано в галографических системах формирования изображения.
Известные фотошаблоны, выполненные в виде прозрачной подложки с повторяющимися прозрачными и непрозрачными элементами, имеют недостаточную разрешающую способность.
Для повышения разрешающей способности в предлагаемом фотошаблоне через интервал на прозрачные элементы установлены полуволновые пластины.
На чертеже представлена принципиальная схема описываемого фотошаблона, выполнен. ного в виде подложки 1 с непрозрачными элементами 2 и прозрачными элементами 3 и 4, имеющими разную толщину, за счет чего фотошаблон является фазово-амплитудным, позволяющим использовать степень свободь1 оптического сигнала. (51) М. Кл.е G 02Ь 27/00
495636
Составитель В, Ванторин
Техред М. Семенов
Корректор Л. Орлова
Редактор С. Хейфиц
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1121/1 Изд. № 1033 Тираж 593 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5