РЕПИНСКИЙ С.М.

  1, ПОЛИРУЮЩИЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОШК КРИСТАЛЛОВ И СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ на основе водных растворов , отличающийся тем, что, с целью уменьшения токсичности, он содержит дифторид ксенона при следующих соотношениях компонентов, вес.%: Дифторид ксенона 0,1-2,0 Вода98,0-99,9 2. Способ травления по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности процесса , травление веду...

  ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ КРЕМНИЯ, включающий дифторид ксенона, о т л ич а ю щ.и и с я тем, что, с целью повышения устойчивости травителя, он содержит ацетонитрил при следующем соотношении компонентов мас.%: Дифторид ксенона 1-6 Ацетонитрил94-99 СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ f%CflVSËÈН (51)4 Н 01 1 21/306 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СИЩ ЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР...