Сособ получени я слоев двуокиси кремния

Сособ получени я слоев двуокиси кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

<») 5I0057

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17.04.74 (21) 2020938 26-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.06.77. Бюллетень № 23 (45) Дата опубликования описания 16.09.77 (51) Ч Кч Н 01 L 21/20

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы изобретения

Л. Л. Васильева, В. Н. Дроздов, С. М. Репинский и К. К. Свиташев (71) Заявитель

Институт физики полупроводников

Сибирского отделения АН СССР (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ

СЛОЕВ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов и может быть использовано в производстве интеграль,ных схем.

Известен способ получения слоев двуокиси кремния термическим окислением силана кислородом при температурах от 200 до 1100 С в широком интервале скоростей потоков газовой смеси от 0,1 до 20 л лин.

Недостаток известного способа состоит в том, что вследствие термической нестабильности молекул силана при проведении процесса в условиях потока в горизонтальном реакторе происходит быстрое обеднение газовой смеси по силану, и скорость роста слоя двуокиси кремния резко падает по длине реактора.

Цель изобретения — получение слоев двуокиси кремния одинаковой толщины по всей длине изотермического кварцевого реактора.

Сущность изобретения заключается в том, что процесс окисления силана ведут в избытке кислорода при мольном отношении кислорода к силану 70: 1, .концентрациях силана (0,5 — 2) . 10 лголь л, при скорости потока газовой смеси 19 — 20 сл сек и температуре

430 — 500 С.

Поскольку скорость радикально-цепной реакции окисления силана зависит от концентрации кислорода, выбираются такие условия, когда изменением этой скорости по длине реактора компенсируют наблюдаемый обычно эффект обеднения газовой смеси по сил а ну.

Согласно предложенному способу слои двуокиси кремния выращивают в горизонтальном изометрическом реакторе диаметром

45 лл, с зоной равномерной температуры

1о 400 лл. В качестве подложек служат полированные пластины монокристаллического кремния (ди а метром 20 лл) . Используют 4 Ого -ную смесь силана с аргоном, газ-носитель — аргон.

Температура нанесения слоев 450 С, время опыта 60 лин, скорость кислорода 98 лл, лин, скорость потока аргон — силановой смеси

35 лгл/,1гин, суммарная скорость потока газовой смеси — 7,5 лг,егин. Образцы располагают на горизонтальной кварцевой подставке по всей зоне равномерной температуры. Предварительного смешивания газов не осуществляют.

Средняя толщина слоев, полученных предложенным способом, составляет 1830г-60 А, показатель преломления 1,46.

Формула изобретения

Способ получения слоев двуокиси кремнпя

510057

Составитель Г. Угличина

Техред В. Рыбакова

Редактор Т. Орловская

Корректор В. Гутман

Заказ 539/1410 Изд. № 78 Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» окислением силана кислородом при 430—

500 С и линейных потоках газа 19 — 20 см/сек, отличающийся тем, что, с целью получения слоев одинаковой толщины по всей длине изотермического реактора, процесс ведут при мольном отношении кислорода к силану 60:1, концентрациях силана (0,5 — 2) Х

Х 10 — 5»ionb/л.