КОВАЛЬСКИЙ Г.А.

  )1 1)5П751 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сок)з Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.12.73 (21) 1975242 25 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.82. Бюллетень «¹ 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.82 (-)) Ч 1.. з Н 05Н 7/00 Н 05Н 7/12 Н 01J 3/04 Государственный комитет (53...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ.ИНТЕНСИВНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ, содержа/- - щее электростатическую кольцевую электродную систему с ускоряющей иэквипотенциальной областями и электромагнитную систему, отличающееся тем, что, с целью повышения плотности ионного пучка при малой расходимости^электромагнитная система вьтолнена в виде прямолинейного проводника, {Рабочая часть которого расположена...

  ЭЖКТРОВАКУУМНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ПУТЕМ ИМПЛАНТАЦИИ БЫСТРЬК АТОМНЫХ ЧАСТИЦ, содержащее сист'ему эысоковольтногр питания, узел источника ионов имплантируемого вещества.узел ускорения ионов, узел очистки пучка имплантируемых частиц и узел мишени, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов устройства и его веса, а также потребляемой мощности, узел оч...

  СОО3 СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ug g Н 01 J 27/22 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ! 7 ) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 2831356/18-25 (22) 29.10 ° 79 (46) 15.12.85. Бюл. 9 46 (71) Московский институт радиотехники, электроники и автоматики (72) Г.А.Ковальский (53) 621,387(088,8) (56)Габович И.Д. Физика и техника плазменных источников ион...

  ИСТОЧНЖ ИОНОВ, содержащий газоразрядную камеру, включающую т ермокатод , анод, экранный электрод с , экстрагирующим отверстием, средство создания магнитного поля в камере и систему ускорения осесимметричного пучка ионов, отличающийс я тем, что, с целью првьшения плотности ионного тока пучка, газог разрядная камера вьтолнена в виде тора прямоугольного сечения, ось симметрии которо...