PatentDB.ru — поиск по патентным документам

КАУФМАН М.С.

Изобретатель КАУФМАН М.С. является автором следующих патентов:

Источник плазмы для микроэлектроники

Источник плазмы для микроэлектроники

  )1 1)5П751 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сок)з Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.12.73 (21) 1975242 25 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.82. Бюллетень «¹ 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.82 (-)) Ч 1.. з Н 05Н 7/00 Н 05Н 7/12 Н 01J 3/04 Государственный комитет (53...

511751