КОЗЛОВА НАТАЛЬЯ ВЕНИАМИНОВНА

  Ц, . ° \ ° Ф5 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических 00 521620 Республик ! М (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.02.74 (21) 201.";216/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 15.07.76. Бюллетень № 26 Дата опубликования описания 24.08.76 (51) М. Кл.з H 01L21/306 С 23F 1/00 Государственный комитет С...