ЭССЕН ВИТАЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  ! ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (») 529864Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлено12.05.74 (21) 2022594 02 с присоединением заявки . и (23) Приоритет (51) М. Кл. В 21 В 37/02 Гасударственный комитет Совета Мнннстров СССР по делам нзооретеннй н открытнй (43) Опубликовано30.09.76.Бюллетень ЛЪ 36 (5З) уд 621....

  Изобретение относится к радиометрическим методам измерения толщины и может быть использовано в микроэлектронике и приборостроении. Цель изобретения - повышение точности за счет обеспечения одновременного измерения интенсивности как для неослабленного излучения, так и излучения, прошедшего через образец, одним и тем же координатно-чувствительным детектором (КЧД). В устройстве в ка...