КЛЫКОВ В.И.

  О п И ИЕ К ЗОЬРЕТЕЙ ИЯ Сокол Советских Соцйалисти 2еснитт PB@ jj y gjj jj r j (61) ДОНОлнительнОе к авт. сВил-sv (5т) М. Кл (22) Заявдено64.11.74 (Я) 2О72312/25 HpkrgOr.r rjkrH HHr2rj Вактаак;И фа (23) Г)риоаитет Н О1 I 21nO Гавудврвтвваньй авнвтвт йавта Ивавстров СОИ ав дува вщвввтвврйт.ч вта ;ып-: 1 (432 . п гбЛНКОПВНО QQoo8„7ßðrcjjjjBTôjjb pro 2 1 j "к45),ОИТН Опх 6АИКОВ...

  Изобретение относится к области электроники и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов. Целью изобретения является повышение выхода годных структур. Цель достигается тем, что способ включает последовательное формирование на поверхности кремниевой подложки слоев изолирующего окисла, поликристаллического кремния капсулнрующего покрытия, отжиг в азотсодерж...