ХАРЧЕНКО ВАЛЕРИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

  т1 11 ент ;

  О П И С А Н И Е (9ЗЗЗ97 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03. 11.80 (21) 3000107/25-08 (5! )М. Кл. В 24 В 11/00 с присоединением заявки № Риудерстмнньй каинтет СССР ле делам изабретеннй и аткрытнй (23) П р нори тет Опубликовано 07.06.82. Бюллетень № 21 Дата опубликования описа...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ -ФАЗЫ, включающее водоохлаждаемую камеру, полый подложкодержатель, расположенный в камере , индуктор, установленный в закрытом колпаке внутри подложкодержателя, теплоизоляционный экран, размещенный у внутренней стенки камеры, и средства ввода и вывода газа, отличающееся тем, что, с целью повыщекия качества осажденных слоев путем обеспечен...