Устройство для изготовления сферического шлифа

Устройство для изготовления сферического шлифа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (9ЗЗЗ97

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03. 11.80 (21) 3000107/25-08 (5! )М. Кл.

В 24 В 11/00 с присоединением заявки №

Риудерстмнньй каинтет

СССР ле делам изабретеннй и аткрытнй (23) П р нори тет

Опубликовано 07.06.82. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 07.06.82 (53) УДК 621. . 923.5 (088.8) Б. А. Егай, Л. И. Зарецкая, В. В. Харченко, П. И. Кутовйи;= -.

А. А. Цукерваник, Ф. P. Хашимов и В... Пантуев (72) Авторы изобретения (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

СФЕРИЧЕСКОГО ШЛИФА

Изобретение относится к абразивной обработке материалов и может быть ис пользовано в производстве полупровод« никовых структур при контроле их электрофизических параметров.

Известен станок для изготовления сферического шлифа, содер>каший опору с установленным на ней сферическим притиром и нажимным устройством, претвод, предметный столик, закрепленный на рычаге, дакиций возможность опуото кать предметный столик с закрепленной на нем полупроводниковой структурой на сферический притир, электромагнит, создаюпцтй тарнрованный прижим структу1S ры к сферическому притиру, и электронную схему, обеспечивакмцую питание, управление, сигнализацию и отключение пресвода f1j .

Наиболее существенным недостатком данного устройства является отсутствие возможности использования сферетческих притиров разных диаметров, что необходимо для шлифования полупроводниковых структур с разной тсмпцяной эпитаксию ных слоев.

Белью изобретения является расширение технологических возможностей уст ройства за счет обеспечения онеративного изменения режимов шлифования путем смены притиров.

Поставленная цель достигается т м, что зажимные приспособления для притира установлены на поворотном с возможностью фиксации, эксцентричном относительно оси привода, диске, причем притиры поочередно кинематически связаны с приводом.

На фиг. 1 приведен обший вид диска с установленными на нем притирами; на фиг. 2 — продольный разрез А-А фкг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б фяг. 2.

На диске 1 с помощью нажимных устройств 2 и 3 располагаются, например, два сферических притира 4 и 5 различных диаметров.

Притир 4 центрируется в сферических опорах 6 и 7, а ттртттттр 5 — в опорах 8

3 933397 4 и 9. ПосРедством поводков 10 и 11 йередавая движение через ш 13 прнтиры кинешма чески связаны с води- придиру 5. лами, выношенными заодно с шестерня- .. Испопьэоватше данной кон ми 12 13 к е е данно конструкции ми,, которые им зют воакожность позвопяет оперативно изменять режимы поочередного зацепления с приводной шес- $ шлифования и создает усповия об ботки т ей 14 зак и условия ра ки тепя 15 ерн, реппенно на вану двига- . на одном станке попупроводник ковых тепя, раэмешенного в основании 16. структур с различными тсипщшамн эпиПосадочная поверхность 17 основания 16, таксиапьных слоев, что сокрашает копи. явпяиицаяся направпякацей при повороте чество используемых станков. диска, выпопнена эксцентрично относи- 10 тельно оси двигателя 15. Положение Форм ормула изобретения диска фиксируется (фиксатор на чертеже яе "показан). У й

Привод притира 5 имеет промежуточ- 1$ ную шестрепо 18. Диск 1 кренится к основанию 16 винтами 19.

Устройство работает спедуюшим образом. Один из притиров, например 4, устанавливается в зоне шлифования, 2й при этом шестерня 12 входит в зацеппе-, ние с прпюдной шестерней 14. Положение диска 1 фиксируется. В этот момент шестерня 18 бпагодаря эксцентриситету не входят s зацепление с приводной 2$ шестерней 14 и, спедоватепьно, притир

5 остается неищвижным. Последний подается в зону шпифования поворотом диска по часовой стрелке на 90о. Пук этом шестерня 12 выходит из эацеппе $а ния с приводной шестерней 14, а шестерня 18 входит с ней в зацепление, стро ство дпя изготовления сферического шпифа, содержашее столик дпя размещения образца и прнтир, закрепленный в зажимном приспособлении н кннематнчески связанный с пукводом, расположенным в основании, о т л и ч а юш е е с я тем, что, с цепью расширения технологических воэможностей устройства путем обеспечении оперативного изменения режимов шпифования при использовании нескольких прнтиров, оно снабжено поворотным диском, закрепленным на основании эксцентрично осн привода н несушим зажимные приспособления, установленные с возможностью поочередного взаимодействия с приводом.

Источники информащии, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Ж 70.1770, кл. В 24 В 5/00, 1977.

933397

Составитель А. Козлова

Реаактор Б. Феаотов Техрец С. Мигунова Корректор А. Ференц

Заказ 4030/2 краж 886 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, -Москва, -Ж-ЗВ, Раушская- наб.; — д; -4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ynü Проектная, 4