ХАШИМОВ ФАРРУХ РАХИМОВИЧ

  Ц, . ° \ ° Ф5 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических 00 521620 Республик ! М (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.02.74 (21) 201.";216/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 15.07.76. Бюллетень № 26 Дата опубликования описания 24.08.76 (51) М. Кл.з H 01L21/306 С 23F 1/00 Государственный комитет С...

  О П И С А Н И Е (9ЗЗЗ97 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03. 11.80 (21) 3000107/25-08 (5! )М. Кл. В 24 В 11/00 с присоединением заявки № Риудерстмнньй каинтет СССР ле делам изабретеннй и аткрытнй (23) П р нори тет Опубликовано 07.06.82. Бюллетень № 21 Дата опубликования описа...

  Изобретение позволяет получать с высокой чувствительностью информацию о структуре тонких приповерхностных слоев до толщины 1 нм на двухкристальном спектрометре. Угловое распределение интенсивности при различных углах отворота .исследуемого кристалла от точного брэгговского угла определяют с помощью детектора со щелью, линейно перемещающегося в плоскости, перпендикулярной плоскост...

  Использование: анализ кристаллов, контроль микродеформаций полупроводниковых кристаллов. Сущность изобретения: перед исследуемым образцом устанавливают эталон-монокристаллическую пластину материала образца, в которой отсутствует изгиб атомных плоскостей. Рентгеновское излучение направляют одновременно на образец и эталон. Измеряют разницу угловых положений пиков отражений образца...