ЗОТОВ ВИКТОР ВАСИЛЬЕВИЧ

  О П И С А Н И Е

  Оп ис АЙ-я ИЗОБРЕТЕНИЯ.А) (ii) 634225 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (63) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено0406.77 (21) 2474735/28-10 с присоединением заявки РЙ (23) Приоритет (43) Опубликовано 251178.Бюллетень ¹43 (45) Дата опубликования описания 30.1178 (51) М. Кл. Cj 03 7/10 Государственный комитет Совета Министров СССР по д...

  ОП ИС АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскнк Соцналистнческнк Республик зии в кремний.; — долговечность, возможно"ть регенерации и многократного испопь— зования; совместимость с требованиями быстрого (за 10-20 мин) достижения высокого вакуума (5 !О 10 Mì ггт.с T.! 40 J.((. ë ь иэГгбр T(llия Об en("i(ll и(. и c 11(f. . ь 1 О ез а 11 и я подл О ж F к р а 1 н О! Г> ли л е сра Это...

  1.ТЕРМОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ HACOG, содержащий снабженный нагревателем рабогшй элемент с oceraJM каналом для прохода откачиваемого газа,о тлич ающий ся тем,что, с ;целью улучшения откачных характеристик , осевой канал выполнен с переменным поперечным сечением,монотонно увеличивающимся в направленин откачки . 2. Насос по п. 1, отличающийся тем,что он снабжен охлаждаемым элементом...

  Использование: производство полупроводниковых приборов и интегральных схем, технология наращивания эпитаксиальных слоев. Сущность изобретения: в зоне нагрева размещают термоиндикатор .в виде пластины кремния р-типа проводимости с ион но-ммплантированным слоем сурьмы , П редварительно термбийдйкат 6р окисляют в среде влажного кислорода при температуре 800-900°С в течение 9...