ТИТОВ ВАЛЕНТИН АЛЕКСЕЕВИЧ
Изобретатель ТИТОВ ВАЛЕНТИН АЛЕКСЕЕВИЧ является автором следующих патентов:
Подложкодержатель для устройств ионнолучевого легирования
ОП ИС АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскнк Соцналистнческнк Республик зии в кремний.; — долговечность, возможно"ть регенерации и многократного испопь— зования; совместимость с требованиями быстрого (за 10-20 мин) достижения высокого вакуума (5 !О 10 Mì ггт.с T.! 40 J.((. ë ь иэГгбр T(llия Об en("i(ll и(. и c 11(f. . ь 1 О ез а 11 и я подл О ж F к р а 1 н О! Г> ли л е сра Это...
710625