Способ осаждения пироуглерода и устройство для его осуществления
Изобретения относятся к получению графитовых материалов и могут быть использованы в химической технологии, атомной и электронной промышленности. Технический результат заключается в повышении производительности процесса осаждения пироуглерода. Осуществляют подачу в зону осаждения смеси углеводорода и инертного газа и варьируют концентрацией углеводорода во времени. Расход углеводорода во в...