Устройство и способ разъединения и транспортировки подложек
Изобретение относится, в частности, к разъединению и транспортировке пластинчатых подложек (102), например солнечных пластин. Согласно изобретению разъединение происходит в текучей среде, и между захватом (108) и отделяемой подложкой (102) за счет тонкой жидкостной пленки возникают адгезионные силы, обеспечивающие сцепление с захватом (108). Устройство содержит расположенное в текучей среде несу...
