B81B7 - Микроструктурные системы — все патенты категории

Способ и устройство для монтажа подложки в корпус

Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам (МЭМС) и монтажу таких систем в корпусе. Технический результат направлен на усовершенствование конструкции изделий. Дисплейное устройство содержит матрицу подвижных зеркал, выполненных с возможностью интерферометрически модулировать свет. Причем это дисплейное устройство содержит прозрачную подложку; интерферометрический модулятор, содерж...

2374171

Прецизионный двухканальный спектральный флуориметр для регистрации и измерения динамики дифференциального флуоресцентного сигнала нано- и микрообъектов

Изобретение относится к приборам для регистрации измерений спектрофлюорометрии. Прецизионный двухканальный спектральный флуориметр включает гермокорпус с верхней и нижней крышками и герметичной кюветой, аккумуляторы, измерительную камеру, регулируемые центрующими шайбами селективные фотодиоды в комбинации с интерференционными светофильтрами, узкополосную светодиодную с фокусирующей линзой, измер...

2375701

Способ и система для монтажа в корпус устройств на основе мэмс с внедренным газопоглотителем

Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам (МЭМС). Технический результат направлен на усовершенствование и создание новых изделий. Система для монтажа в корпус устройств на основе MEMS содержит подложку, устройство на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), сформированное на подложке, объединительную плату, уплотнение, расположенное вблизи периметра устройства на основе МЭМ...

2379227

Высокочастотный магниточувствительный наноэлемент

Изобретение относится к области магнитных наноэлементов на основе многослойных металлических наноструктур с магниторезистивным эффектом и может быть использовано для преобразования высокочастотного магнитного поля в электрический сигнал. Технический результат - создание высокочастотного магниточувствительного наноэлемента на основе тонкопленочных резистивных полосок, обладающего требуемой амплиту...

2391747

Многоосевой интегральный микромеханический туннельный акселерометр

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку 1, преобразователь перемещения 2, инерционную массу 3, активные области подвеса 4 и 9, пассивную область подвеса 5, неподвижный электрод 6, подвижный электрод 7, а также два дополнительных подвеса с активными областями 1...

2415443

Элемент и способ его изготовления

Изобретение относится к микромеханическим, микроэлектромеханическим (МЭМС) и микрооптоэлектромеханическим (МОЭМС) элементам, а также способам их изготовления. Сущность изобретения: в способе изготовления элемента, в частности микромеханического, микроэлектромеханического или микрооптоэлектромеханического элемента, изготавливают первую сборку слоев, включающую первую подложку, на которую нанесен п...

2424972

Способ эксплуатации и схема для эксплуатации ёмкостного микроэлектромеханического датчика с аналоговым восстановлением

Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. Датчик содержит по меньшей мере один дифференциальный конденсатор, образованный двумя неподвижными электродами, между которыми упруго подвешен с возможностью смещения под действием внешней силы, которое может быть измерено, и подвижный центральный электрод. Способ эксплуатации емкостного датчика, согласно к...

2431150

Тепловой микромеханический актюатор и способ его изготовления

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании и изготовлении микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы, обеспечивающие преобразование «электрический сигнал - перемещение» и/или «изменение температуры - перемещение» для микроробототехнических систем. Изобретение направлено на расширение диапазона тем...

2448896

Конструкция и технология изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе: силовых переключателей, схем памяти, сенсорных датчиков, систем обработки информации и др. Способ изготовления интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структур...

2481675

Микросистемное устройство терморегуляции поверхности космических аппаратов

Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может быть использовано при создании систем терморегуляции нагреваемой поверхности космических аппаратов, либо иных систем, обеспечивающих микроперемещения в горизонтальной плоскости плоской функциональной несущей поверхности относительно неподвижного основа...

2518258

Устройство защиты первичного преобразователя ускорения

Изобретение относится к системам защиты микромеханических систем и предназначено для обеспечения защиты первичных преобразователей ускорения (ППУ) от действия внешних дестабилизирующих факторов (ВДФ). Устройство защиты ППУ содержит корпус, на котором установлено основание, выполненное из двух соединенных между собой нижней и верхней частей, на последней из которой закреплен ППУ, нижняя часть осн...

2530435

Устройство контроля герметичности микроструктур

Изобретение относится к технике контроля герметичности микроэлектромеханических и микроэлектронных устройств, для функционирования которых требуется герметичный корпус с внутренней полостью. Сущность: устройство включает камеру экспозиции микроструктур в пробном газе, спектрометр, работающий в ИК-диапазоне, и блок управления позиционированием волноводов. В камере экспозиции размещены два волново...

2538420

Способ изготовления герметизированной конструкции

Изобретение относится к изготовлению герметичных конструкций, образующих микроэлектромеханические системы. Способ создания герметичного уплотнения внутри первой композитной пластины типа кремний-изолятор, используемой для изготовления герметичной конструкции, включает следующие операции: структурирование первой кремниевой пластины для формирования одного или более углублений, проходящих по мень...

2568947

Способ получения проводящих сетчатых микро- и наноструктур и структура для его реализации

Изобретение относится к микро- и наноструктурированным покрытиям, применяемым, в частности, в области оптически прозрачных проводящих покрытий. Технический результат - эффективное формирование проводящей структуры сетчатой формы, обеспечивающей функцию прозрачных проводящих покрытий, на поверхности обрабатываемой подложки на этапе формирования отсоединяемого проводящего слоя, а также посредством...

2593463

B81B7 - Микроструктурные системы

Подкатегории

Патенты в этой категории