Способ получения кремния, легированного сурьмой
Изобретение относится к производству кремния, легированного сурьмой, широко применяемого в качестве подложек для эпитаксии. Сущность изобретения: в расплав кремния, содержащего легирующую примесь сурьму в концентрациях 0,3-1,4 мас.%, вводят вторую примесь - германий нелегированный или легированный изовалентной примесью или элементом V группы, в концентрациях 0,08-1,8 мас. % по отношению к...