Устройство для введения легко испаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов

Устройство для введения легко испаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Хе 150488

Класс 12с, 2;

401, 1за

СССР

0ЛИСАНИК ИЗОВРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная epgnnn Ла 89

Л. П. Калнач и А. Я. Одзиня

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВЕДЕНИЯ ЛЕГКОИСПАРЯЮЩИХСЯ

ПРИМЕСЕЙ В РАСПЛАВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ

Заявлено 12 октября 1961 г. за № 747956/22-2 в Комитет Ilo делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Б1оллетене изобретений» Х 19 за 1962 г, Недостатком известного устройства для введения легкоиспаряющихся .примесей непосредственно в полупроводниковый расплав является то, что в процессе вытягивания кристаллов вследствие колебания давления паров примеси полупроводниковый расплав засасывается в сосуд с примесью, когда ее еще имеется значительное количество.

Это приводит к нарушению технологического процесса.

Описываемое устройство исключает казанный недостаток. Достигается это тем, что оно снабжено поплавком.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство состоит из пузырька 1 грибовидной формы с цилиндрической ножкой 2, имеющей отверстие 8, которое плотно закрыто пришлифованным к нижней поверхности ножки поплавком 4. Держатель 5 прикреплен к концу штока для вытягивания кристаллов.

Принцип действия устройства следующий. Пузырек 1 через отверстие 8 заполняют легкоиспаряющейся примесью. После распла влепия полупроводникового материала устройство опускают в расплав так, что в последний погружены поплавок и часть ножки пузырька.

При этом примесь в пузырьке нагревается и испаряется. По достижении соответствующего давления пары примеси отталкивают поплавок, выходят в расплав и растворяются в нем. При уменьшении давления паров поплавок автоматически закрывает отверстие, предотвращая таким образом засасывание расплава в пузырек. № 150488

Предмет изобретения

Устройство для введения легкоиспаряющихся примесей в расплав полупроводниковых материалов, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью редотв а1цения засасывания расплава в устройство, последнее снабжено поплавкой .

Редактор Н, Л Корченко Теаред А, А. Камышникова Корректор Р. Al Рамазанов

Гароди. к печ 11Х-62 г, Формат бум, 70Х108 /ц Объем 0,18 изд. л, .Зак. 9312 Тираж 650 Цена 4 кбн.

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М Черкасский пер„д. 2/6.

Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14,