Трехмерная структура, образованная тонкими кремниевыми проволоками, способ ее изготовления и устройство, содержащее ее
Изобретение применимо к сканирующему зондовому микроскопу, измерителю колебаний, анализатору поверхностей и граничных поверхностей электрической схемы, детектору массы, сети электронных схем, фильтру для захвата вещества, а также к измерениям температуры, распределению температуры в электронных устройствах и распределению температуры и метаболизма в биологических материалах. Техническим результато...