Матрица управляемых тонкопленочных отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, и способ ее изготовления
Изобретение относится к оптической проекционной системе. Матрица из М х N тонкопленочных управляемых отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, включает в себя активную матрицу, матрицу из М х N тонкопленочных управляющих структур, каждая из которых содержит первую и вторую управляющие части, каждая из которых включает в себя по меньшей мере тонкопле...