Сульфоэфир 1,2-нафтохинондиазида и оксибензоилбензофенона в качестве светочувствительного компонента позитивного фоторезиста
Использование: в качестве светочувствительного компонента позитивного фоторезиста . Сущность изобретения: продукт - сульфоэфиры 1,2 -нафтохинондиазида и оксибензоилбензофенона при содержании не менее двух нафтохинондиазидных групп и при отношении количества нафтохинондиазидных групп к количеству ОН-групп не менее 4. Реагент 1: диоксидензоил-бензофенон. Реагент 2: нафтохинондиазид...