Система стабильного датчика высокой температуры/нагревателя с вольфрамом на aln и способ
Изобретение относится к чувствительным системам. Чувствительная система имеет подложку (4) из AlN, слой (2) W на этой подложке, источник сигнала, предназначенный для подачи электрического возбуждающего сигнала на слой W и датчик, предназначенный для восприятия отклика слоя W. Слой W может содержать тонкую пленку с различными типами защитных слоев поверх этой пленки. Система воспринимает температур...