Способ энерго-масс-спектрометрического анализа вторичных ионов и устройство для энергомасспектрометрического анализа вторичных ионов
Изобретение относится к массеспектрометрии, а именно к квадрупольным массоспектрометрам для анализа поверхности методом вторичной ионной эмиссии. Цель изобретения - увеличение чувствительности энергомассоспектрометрического анализа и сохранение массоспектрометрического разрешения , при развертке по спектру анализируе-/ мых анергий вторичных ионов. В бесполевом пространстве над ан...