H01L21/321 - последующая обработка — все патенты категории

Способ и устройство (варианты) для электролитической полировки межсоединений в полупроводниковых устройствах

Использование: технология полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: устройство электролитической полировки для полировки металлического слоя, сформированного на полупроводниковой пластине, содержит электролит, гнездо для полировки, патрон для полупроводниковых пластин, впускные отверстия для текучей среды и по меньшей мере один катод. Патрон для полупроводниковых пластин удерживае...

2224329

Способ химико-механической планаризации и полученные с его помощью изделия

Группа изобретений относится к химико-механической планаризации (ХМП) для удаления слоя металла при незатронутой поверхности непроводящего материала при подготовке полупроводниковых изделий. Способ химико-механической планаризации предусматривает полирование подложки, содержащей металл и непроводящий материал, при использовании абразива, который представляет собой порошок оксида алюминия,...

2235747

Полировальная суспензия и способ полирования керамической детали

Группа изобретений относится к полировальным суспензиям и способам их применения. Полировальная суспензия содержит жидкую среду и абразив в виде частиц, включающих мягкие абразивные частицы, твердые абразивные частицы и коллоидные частицы двуокиси кремния, при этом мягкие абразивные частицы имеют твердость по Моосу не более 8, твердые абразивные частицы имеют твердость по Моосу не менее 8, мягки...

2354675

Способ сухой электронно-лучевой литографии

Использование: для формирования резистных масок. Сущность изобретения заключается в том, что наносят слой резиста, в качестве которого выбирают низкомолекулярный полистирол, на подложку методом термического вакуумного напыления, при этом температура подложки во время напыления не более 30°C; формируют на подложке скрытое изображение путем локального экспонирования высокоэнергетичным пучком электро...

2629135

H01L21/321 - последующая обработка

Патенты в этой категории