Способ ориентированного разделения полупроводниковой пластины на кристаллы
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для разделения полупроводниковых пластин на отдельные кристаллы с сохранением их взаимной ориентации. Целью изобретения является увеличение выхода годных и уменьшение трудоемкости . Полупроводниковую пластину размещают и закрепляют под воздействием электростатического поля на полимерном носителе, надрезают пластин...