Способ формирования электропроводящих и/или полупроводниковых трехмерных структур, способ уничтожения этих структур и генератор/модулятор электрического поля для использования в способе формирования
Изобретение относится к микроэлектронной технологии, а именно к технологии получения тонкопленочных электронных схем. Разработаны способы формирования электропроводящих и/или полупроводниковых двумерных или трехмерных структур и их уничтожения. Сконструирован генератор/модулятор электрического поля для использования в способе формирования указанных структур. Технический результат изобрете...