PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Иллюстрации к патенту 2463570

Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой

Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (патент 2463570)