PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Иллюстрации к патенту 2528541

Способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы

Способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы (патент 2528541)