PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Иллюстрации к патенту 2547291

Способ изготовления тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы высокотемпературного датчика механических величин

Способ изготовления тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы высокотемпературного датчика механических величин (патент 2547291)