PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Иллюстрации к патенту 2548380

Способ изготовления термоустойчивой нано- и микроэлектромеханической системы датчика механических величин

Способ изготовления термоустойчивой нано- и микроэлектромеханической системы датчика механических величин (патент 2548380)