Способ анализа примесей в жидкостях или газах при их микроканальном истечении в вакуум под воздействием сверхзвукового газового потока, содержащего ионы и метастабильно возбуждённые атомы, с формированием и транспортировкой анализируемых ионов в радиочастотной линейной ловушке, сопряжённой с масс-анализатором