Огурцов Олег Федорович (RU)

Изобретение относится к приборам вакуумной микроэлектроники, в частности к матрицам полевых эмиссионных катодов с затворами и устройствам на их основе: полевым эмиссионным дисплеям, вакуумным микроэлектронным переключателям токов и др. Технический результат - повышение равномерности и увеличение плотности эмиссионного тока по площади матрицы. В матрице полевых эмиссионных катодов с затворами, соде...

Изобретение относится к вакуумным интегральным микроэлектронным приборам с катодами вертикального типа и обратным расположением электродов относительно подложки и устройствам на их основе: вакуумным интегральным схемам, вакуумным микроэлектронным переключателям токов, полевым эмиссионным дисплеям и др. Изобретение позволяет повысить воспроизводимость электрических характеристик приборов при изгото...