ТОЙО ТАНСО КО., ЛТД. (JP)

Настоящее изобретение относится к покрытому карбидом тантала углеродному материалу, который может быть использован как составная часть устройства для формирования монокристаллов бинарных полупроводниковых соединений. Техническим результатом настоящего изобретения является получение материала, имеющего высокую коррозионную стойкость к восстановительному газу и высокое сопротивление тепловому удару...

Изобретение относится к покрытому карбидом тантала углеродному материалу и способу его изготовления. Покрытый карбидом тантала углеродный материал содержит углеродную подложку и покрывающую ее пленку карбида тантала. При измерениях с изменением угла ориентации (α) образца покрытого карбидом тантала углеродного материала покрывающая пленка карбида тантала имеет максимальную величину дифракционног...