Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Центр перспективных технологий" (RU)

Изобретение относится к области сканирующей микроскопии. Способ включает калибровку сканера и/или позиционирование зонда на основе интерференционной картины, полученной путем дополнительного использования источника светового потока и разделения потока света на два когерентных потока света, которые проходят различные оптические пути, а затем сводятся вместе и направляются в систему видеонаблюдения...

Изобретение относится к областям микроэлектроники, электрохимии, микро- и нанолитографии и т.д. и может быть использовано для локального анодного окисления материалов, используемого при создании элементов микросхем, микро- и наноструктур, микромеханических и сенсорных систем. Согласно изобретению в зонде для локального анодного окисления материалов, выполненном в виде иглы с покрытием, электропро...