Белозубов Евгений Михайлович (RU)

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении датчиков давления повышенной точности, устойчивых к воздействию нестационарных температур. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения датчиков давления, имеющих мембрану с жестким центром, путем улучшения линейности выходной характеристики в условиях воздействия нестационарных т...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред. Техническим результатом изобретения является повышение точности, повышение надежности и повышение технологичности датчика давления. Датчик давления с тонкопленочной тензорезисторной нано- и микроэлектромеханической системой содержит корпус, установленную в нем нан...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред при воздействии нестационарных температур. Техническим результатом изобретения является повышение точности за счет уменьшения нелинейности измерительной цепи датчика, а также за счет уменьшения разницы расстояний от центра мембраны до тензорезисторов, включенных в...

Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы относится к области измерительной техники и предназначен для измерения давления при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), содержащий корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элеме...

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления. В предлагаемом способе стабилизации нано- и микроэлектромеханической системы тонкопленочного тензорезисторного датчика давления разогрев тензорезисторов импульсным электрическим током проводят после герметизации внутренней полости чувствительного элемента датчика п...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления жидких и газообразных средств. Техническим результатом является повышение точности измерения давления и технологичности. В способе измерения давления с использованием тензорезисторного датчика давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), в режиме измерения значение измеренного...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования. Способ изготовления высокостабильного датчика давления на основе...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной стабильн...