Общество с ограниченной ответственностью "БАРГАН ТЕХНОЛОДЖИ" (ООО "БТЕХ") (RU)

Изобретение относится к нанослойным структурам типа металл-диэлектрик-металл для микроэлектроники. Техническим результатом изобретения является создание многослойного нанокомпозита для конденсаторов с большой удельной энергоемкостью. Согласно изобретению многослойный нанокомпозит для конденсаторов содержит подложку из графитовой фольги плотностью от 0,27 до 1,2 г/см3, на лицевой поверхности котор...

Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно к способам изготовления многослойных нанокомпозитов для конденсаторов, в частности наноструктур металл-диэлектрик-металл (МДМ) с нанометровой толщиной слоев. В способе, включающем следующие этапы: формирование на поверхности кремниевой подложки регулярно расположенных затравочных выступов, выращивание одномерных наноэлементов, а также на...