PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Лизюков Евгений Васильевич (RU)

Лизюков Евгений Васильевич (RU) является правообладателем следующих патентов:

Подложкодержатель и установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления на его основе

Подложкодержатель и установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления на его основе

Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления. Технический результат заключается в повышении производительности, гибкости, ресурсосбережения, удобства обслуживания и качества осаждаемого слоя. Подложкодержатель включает, по меньшей мере, один модуль, состоящий, по меньшей мере, из одной насадки с элементами фиксации подложек, соедине...

2437964