Лизюков Евгений Васильевич (RU)

Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления. Технический результат заключается в повышении производительности, гибкости, ресурсосбережения, удобства обслуживания и качества осаждаемого слоя. Подложкодержатель включает, по меньшей мере, один модуль, состоящий, по меньшей мере, из одной насадки с элементами фиксации подложек, соедине...