Учреждение Российской академии наук Южный научный центр РАН (RU)
Учреждение Российской академии наук Южный научный центр РАН (RU) является правообладателем следующих патентов:
Гетероструктуры sic/si и diamond/sic/si, а также способы их синтеза
Изобретение относится к сфере производства гетероэпитаксиальных структур, которые могут быть использованы в технологии изготовления элементов полупроводниковой электроники, способных работать в условиях повышенных уровней радиации и высоких температур. Гетероэпитаксиальную полупроводниковую пленку на монокристаллической подложке кремния выращивают методом химического осаждения из газовой фазы. П...
2499324