Учреждение Российской Академии наук Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) (RU)

Изобретение может быть использовано при изготовлении прозрачных электродов и приборов наноэлектроники. Графеновую пленку получают осаждением в вакууме углерода из углеродсодержащего газа на подложку, покрытую катализатором, предварительно нагретую до температуры, превышающей разложение углеродсодержащего газа. Углеродсодержащий газ напускают до давления 1-10-4 торр. Откачивание реактора производ...