ООО "Инновационные Вакуумные Решения" (RU)

Изобретение относится к cпособу управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройству геттерного насоса. Предусмотрено автоматическое управление распылением геттерного материала в зависимости от текущего давления в камере: чем выше давление, тем меньше период следования импульсов поджига. В зависимости от выбранного оператором режима работы (рабочее значение давления, стартово...