Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" (RU)

Изобретение относится к металлургической промышленности, в частности к способу производства трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния. Технический кремний загружают в реактор и гидрохлорируют синтетическим хлористым водородом в кипящем слое. Полученный трихлорсилан смешивают с инертным газом, конденсируют в холодильниках, выдерживают полученный конденсат с...

Изобретение относится к обработке выращенных методом Чохральского монокристаллов кремния и может быть использовано при изготовлении монокристаллических кремниевых пластин - элементов солнечных батарей и интегральных схем. Способ изготовления монокристаллических кремниевых пластин предусматривает псевдоквадратирование монокристалла кремния с последующим шлифованием ребер псевдоквадратированного сли...

Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского. Привод вращения и передвижения растущего монокристалла в установках для его выращивания содержит расположенную в корпусе карусель, приводимую в движение через зубчатые колеса и трансмиссионной вал двигателем вращения монокристалла, а также установленный...

Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского. Способ формирования защитного покрытия на внутренней поверхности кварцевого тигля предусматривает обработку внутренней поверхности тигля рабочим раствором, содержащим соль бария с последующей термообработкой. Рабочий раствор содержит: в...

Устройство относится к химическому машиностроению и может быть использовано для синтеза трихлорсилана в технологии полупроводникового кремния. Реактор с псевдоожиженным слоем содержит корпус с размещенным над ним сепаратором и расположенным в нижней его части коническим днищем с выходным отверстием в его нижней части. В днище смонтированы направленный вниз наклонный патрубок для ввода реагентов и...