Ершов Дмитрий Николаевич (RU)

Изобретение относится к получению защитных электропроводных и оптически прозрачных покрытий для электроники, транспорта, а также для реализации энергосберегающих технологий в строительстве. Предложен способ получения указанного покрытия на основе оксида индия на подложке из стекла, включающий магнетронное распыление мишени на основе индия в вакууме и осаждение покрытия в атмосфере газовой смеси ин...