Способ получения легированного кремния

Способ получения легированного кремния

Реферат

 

Способ получения легированного кремния путем выращивания его, облучения медленными нейтронами и отжига, отличающийся тем, что, с целью получения материала n- или p-типа проводимости с заданной степенью компенсации, в кремний в процессе выращивания вводят германий, атомарную долю которого x определяют из соотношения где К - заданная степень компенсации полученного материала; К_Ge - степень компенсации нейтронно легированного германия; m = -1 или +1 соответственно в материале n- или p-типа проводимости; - содержание изотопов Si³⁰ и Ge⁷⁰ в природной смеси изотопов Si и Ge; - средние сечения поглощения тепловых нейтронов изотопами Si³⁰ и Ge⁷⁰.

Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000

Код раздела: MM4A

Извещение опубликовано: 27.12.2000