Устройство для контроля центрировки и качества склеенных компонентов

Устройство для контроля центрировки и качества склеенных компонентов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦЕНТРИРОВКИ И КАЧЕСТВА СКЛЕЕННЫХ КОМПОНЕНТОВ., содержащее осветительную систему с источником света, тест обьектом и коляиматорным объективом, .оправу l -контролируемого компонента, проекционную двухкомпонентную систему, первый компонент которой имеет возможность перемещения, и наблюдательную систему, отличающееся тем, что, с целью повышения чуьствитшьности, эа колпиматорвым объективом установлен с возможносгъю перемещения положительный двускпе внный объектив, подвижный компонент проекционной системы выполнениз двусклеенной и одиночной линз, а неподвижный компонент - из двусклеенной отрицательной линзы, при этом фокусное расстояние подвижного компонента соот&вляет 1,52 величины модуля фокусного расстояния неподвижного компонента, а ьепичина перемещения подвижного компонента не превышает двух фокусных расстояний (О неподвижного компонента.

09) (11) СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

g(59 601 М 11/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21 ) 328447511 8-10 (22) 06.05.81 (46) 30.04.83. Бюл. № 16 (72) П. В. Головко, Т. А. Иванова, В. К. Кирилловский и Н. П. Демченко: (53) 535.818 (088.8) .(56) 1. Кривовяз Л. М., Пуряев g. Т., Знаменская А. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М., "Машиностроение, 1974, с. 151, 2. Там же, с. 150 (прототип). (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦЕНТРИРОВКИ И КАЧЕСТВА СКЛЕ

ЕННЫХ КОМПОНЕНТОВ. содержащее осветительную систему с источником света, тес1 объектом и коллиматорным обьективом, onpasy для . контролируемого компонента, проекционную двухкомпонентную систему, первый компонент которой имеет возможность перемещения, и наблюдательную систему, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности, за коллиматорным обьективом установлен с воэможностью перемещения положительный двусклеенный обьектив, подвижный компонент проек. ционной системы выполнен иэ двусклеенной и одиночной линз, а неподвижный компонент - из двусклеенной отрицательной линзы, при етом фокусное расстояние подвижного компонента состюляет 1,52 величины модуля фокусного расстояния неподвижного компонента, а величи-. на перемещения подвижного компонента не превьппает двух фокуснык расстояний неподвижного компонента.

Введением двухсклеенного положитель:ного. подвижного объектива вход лучей .между коллиматорным объективом и оп-, равой контролируемого компонента позволяет спроепжровать изображение тесто бьекта, построенного коплиматорным объективом в плоскость предмета контролируемого компонента, соответствукецую его минимальной сферической аберрации.

При этом сам двусклеенный подвижный компонент имеет качество иэображения для осевой точки предмета, удовлетворяющее" критерию Релея.

Выполнение первого положительного компонента проекционной системы иэ двусклеенной и одиночной лине, а второго, отрицательного компонента в виде двусклеенной линзы, обеспечивает исправление аберрация и проекпионйойсистеме и получение дифракционного качества изображения совместно со всеми контролируеыыми компонентами, чт о было невозможно в прототипе. Вследствие того, что фокусное расстояние положительного цодвижнса о компонента проекционной системы составляет 3.,5-2, от модуля фокусного расстояния второго наюдвижного компо-. нента, достигается максимальный объем фокусируемого пространства и выполнениее условия полезного увеличения, а слеI ! довйтельяо, повышается чувствительность

ИЗМЕРЕНИЯ ДЕЦЕНтРИРОВКИ.

1 101 82

Изобретение Относится к контрольноизмерительной технике и может ать использовано для контроля центрировки склеенных компонентов, а также качества компонентов обьективов микроскопов, по дифракционному изображению точеч- ного объекта, построенного компонентами..

Известно устройство, обеспечивающее контроль центрировки поверхностей силе- 10 енных компонентов, содержащее осветительную систему, тест-объект, светоделительный элемент, оправу для контролируемого компонента, автоколлимационный микроскоп, выполненный из обьектива, 15 содержащего компонент переменного увеличения, компонент постоянного увеличения, восемь сменных Объективов, устанав ливаемых вместо компонента переменного увеличения, и приемную систему, напри- 20 мер окуляр t 3 J .

Устройство характеризуется необходимостью неоднократной перестройки автоколлимационного микроскопа на центPbI KPHBHSHH КоитРОЛИРУЕМЫХ IIOB8PKHOC тей и отсутствием возможности контроля качества склеенных компонентов.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для контроля центри ровки ком, содержащее осве30 тительную систему с источником света, тест-объектом и коллиматорным объективом, onpasy для контролируемого компонента, проекцйонную двухкомпонентную систему, первый компонент которой имеет воэможность перемещения, и наблюдатель- ную систему $2J .

Известное устройство имеет недостаточную чувствительность контроля центрировки поверхностей, обусловленную тем, что контролируемые компоненты в коллимационной схеме контроля (при работе контролируемого компонента иэ бесконеччности) обладают значительной сферической аберрацией, доходящей s компо- . нентах высокоапертурных обьективов микроскопов до 10-20 длины волн cseта. В результате чувствительность.mom роля децентрировки, определяемая наб, людаемым биением изображения тестобьекта, построенного контролируемым

50 компонентом, составляет не менее

0,006 мм.

Отсутствует возможность контроля качества компонентов по дифракционному иэображению точечного тест-обьекта вследствие больших расчетных аберраций, присущих коьщонентам в схеме. контроля.

73 2

Иель изобретения - повьпяение чувствительности устройства.

Поставленная цель достигается .тем, что в устройстве для контроля центрировки и качества склееннйх коьщонентов, содержащее осветительную систему с источником света, тест-обьектом и коллиматорным обьективом, оправу, для контролируемого компонента, проекционную двухкомпонентную систему, первый компонент которой имеет воэможность перемещения,. и йаблюдательную систему, за коллиматорным объективом установлен с возможностью перемещения положительной двусклеенный объектив, подвижный компонент проекционной системы, выполнен иэ двусклеенной и одиночной линз, а неподвижный компонент- — из двусклеенной отрицательной линзы, при этом фокусное расстояние подвижного компонента составляет 1,52 величины модуля фокусного расстоя- ния неподвижного компонента, а величина перемещения подвижного компонента не превышает двух фокусных расстояний неподвижного компонента.

3 -: — 101 S2

На чертеже представлена поинпипиаль, ная оптическая схема устройства.

Устройство состоит иэ осветительной системы 1, содерясащей источник 2 све ,та, тест-обьэкт 3, отражательный эле мент 4, коллиматорпый объектив 5, подвижный двусклеенный обьектив 6 положитеиьной оптической силы, оправы 7 конт ролируемого компонента, проекционной системы 8, выполненной из подвижного te ,положительного компонента 9, содержащего двусклеенную и одиничную линзы 10 .. и 11, и неподвижного отрицательного двускпеенного компонента 12, наблюдательной системы 13., и

Устройство работает следукелим образом..: —: .

Источник 2 света через матовое стекло освещает тест-.объект 3, например, перекрестие, находящийся в переднем 20 фокусе коллиматорной линзы 5. Эта линза проецирует изображение тест-обьек-" та в бесконечность. Положительный обьектив 6 изображет тест-.объект в своей задней фокальной плоскости, не внося цри 25 этом собственных аберраций. Для совме. щения задней фокальной плоскостй линзы

6.с положением плоскости предмета контролируемого компонента (соответствующей его наименьшей сферической абер- 3Е рации), двусклеенная линза 6 имеет фоку+ . сирующую подвижку вдоль оптическойоси. Контролируемый компонент, установ .: ленный s оправу 7; изображает тестобьект с наименышей сферической абер3$ рацией, удовлетворяющей для больши ст

Isa объектов микроскопов критерию Påлея.

В результате перемещения вдоль сети«. . ческой оси первого компонента 9 проек

: ционной системы 8 происходит фокусиро.вание изображения: тесаобьекта, созда-: . ваемого контролируемыйи компонентами в одну постоянную (мнимую) плоскость предмета неподвижного компонента 12.

73 41

Компонент 12 проецирует это- изображение в увеличенн м масштабе в плоскостф предмета наблюдательной системы 13.

При врашении контролируемого компонета в оправе 7 в плоскости иэображения наблюдательной системы 13,будет наблюдаться биение иэображения тест- обьекта, построенного контролируемым компонентом, причем диаметр этого биения пропорпиоыален величине дэцэнтрарозки контролируемого компонента.

Поскольку качество изображения тестобъекта, построенного предлагаемым устройством и контролируемым компонен.том, удовлетворяет критерию Penes, а масштаб его жзображения повьппен в .2-3 раза по сравнению с прототипом, s предлагаемом устройстве достигается увеличение чувствительности центрировв- ки поверхностей микрооцтики до 0,0020,003 мм. Кроме того, если. вместо перекрестия в качестве тест-обьекта установить точечную диафрагму, то цо виду дифракционной картины точечной диафрагмы можно с щить о качестве склеенных компонентов, т.е; об мсутотвии деформации поверхностей, возникащщих при склеивании.

Склеенные компоненты всех крупносе- . рийньж обьективов ьащроскопов с ахроматическим типом коррекции имеют полжение плоскости предмета, для которого сферическая аберрация компонентов удав. летворнет крйтерию Penes. В результа-. те етого в дифракционном иэобфйжении точечного препарата, построенного конт» ролируемым компонентом, с высокой sa дежностью обнаруживаются искажения, вызванные погрешностями технологического процесса - склейкой линз, эакаткой. их В оправы. Таким образом, РарантируФТ ся своевременное обнаружение браке оптических узлов и исключений шанМания нх- на сборку обьективсе.

IРедактор E. Папп!

Заказ 3198/40

Составитель Н. Шандин

Техред M.Ãåðãåëü Корректор А. Ильин

Тираж 873 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Пщ нт, г. Ужгород, ул. Проектны, 4