Устройство возбуждения дугового разряда в вакууме

Устройство возбуждения дугового разряда в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ВОЗБУЛЩЕНИЯ ДУГОВОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ, содержащее последовательно расположенные катод , изолятор и поджигающий электрод, отлича-ющееся тем, что, с целью продления срока службы и повышения надежности работы, оно снабжеHd прикатодным электродом, размещенным между kaтoдoм и изолятором, 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что.прикатодный электрод выполнен из немагнитного материала .. сриг.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51)4 С 23 C 14/36

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ЯО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3282028/18" 21 (22 27,О4.81 (46) 07.11.88. Бюл. Р 41 (72} Л, С. Гуревич, В. В. Назаров и С.С. Турченко (53) 621.793.14 (088.0)

{56) Минайчев В.Е., Мирошкин С.И.

Стационарные сильноточные плазменные испарители металлов и сплавов, "Электронная техно

Патент США Р 3694691, кл. 315-108 опублик. 26„09.72, (54) (57) 1 . УСТРОЙСТВО ВОЗБУЖДЕНИЯ

ДУГОВОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ, содержащее последовательно расположенные ка" тод, изолятор и поджигающий электрод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью продления срока службы и повышения надежности работы, оно снабже« но прикатодным электродом, размещенным между катодом и изолятором, 2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что,пвикатодный электрод выполнен из немагнитного материала.

1053525 Изобретение относится к области нанесения покрытий н вакууме, а также к технике и физике газового раэряда.

Известно устройство возбуждения дугового разряда н вакууме, содержащее катод, поджигающий электрод и привод поджигающего электрода.

Недостатком известного устройства является низкая надежность его работы вследствие залипания поджигающего электрода к катоду.

Наиболее близким техническим ренением к изобретению является устройство возбуждения дугового разряда н вакууме, содержащее последовательно расположенные катод, изолятор, поджигающий электрод.

У этого устройства короткий срок службы и ненысокая надежность вследствие непостоянства электрического сопротивления пленки „обновляемой н процессе работы на поверхности изолятора, отделяющего катод от поджигаю-щего электрода.

Цель изобретения — продление срока службы и повышение надежности уст-ройства..

Указанная цель достигается тем„ что устройство возбуждения дугового разряда в вакууме, содержащее по следовательно расположенные катод, изолятор и поджигающий электрод, снабжено размещенным между катодом и изо-35 лятором прикатодным электродом из не1 магнитного материала.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство для торцоного катода; на фиг. 2 - то же для цилиндрического катода.

Устройства содержит расходуемьп катод i с испаряемой поверхностью 2, поджигающий электроц 3, соединенный с импульсным источником питания изолятор 5, размещенный вне зоны испарения у и прикатодный эле ктрод 6, Устройство возбуждения дугового ра;-ряда работает следующим образом.

При включении источника питания 4 происходит пробой по поверхности изолятора 5 между поджигающим 3 и прикатодным 6 электродами. Образующаяся при пробое плазма инициирует возник-:,"îçeHHe дугового разряда между катодом . и заземленным анодом (на чертеже не показан), катодные пятна которого быстра (10 с) перемещаются от прикатодного электрода 6 на испаряемую часть катода 1. .За время перемещения катодных пятен до испаряемой поверхности катода поверхность изолятора запыляется продуктами эрозии прикатодного электрода, при этом сопротивление по поверхности изолятора от поджига к поджигу постоянно по величине и не превышает 5 10 Ом.

Опыт эксплуатации устройства с прикатодным электродом из стали 12 Х

18 H !О Т показал, что изменение сопротивления пленки н течение всего срока службы не превышает + 1 10 Ом, з

Указанное конструктивное выполнение устройства позволяет продлить срок службы и повысить надежность работы за счет стабильности параметров поверхностного сопротивления пленки на изоляторе. Указанная стабильность параметрон достигается также тем,что изолятор размещен вне прямой видимости с испаряющейся поверхности катода, т.е. сопротивление пленки определяется только количеством эродируемого материала прикатодного электрода.

Кроме того, выполнение прикатодного электрода из немагнитного материала обеспечивает свободное прохождение катодных пятен дуги беэ каких-либо задержек на его поверхности, что также способствует получению стабильных характеристик пленки на изоляторе.

1053525

Со ставитель

Техред М.Моргентал

Редактор Н. Сильнягина

Ко рр е кто р Л. Пилипенко

Заказ 5571 " Тираж 992, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4