C23C14/36 - диодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество)

Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением

138791

$Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением$

Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением

ОПИСАНИЕ ИЗОЬРИтИНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Саюз Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 30.Х1.1965 (№ 1040374/22-1) Кл. 48Ь, 15/00 с присоединением заявки № Приоритет Опубликовано 29.Х11.1966. Бюллетень № 2 Дата опубликования описания 6.II.1967 Комитет по делам изобретений и открытии при Совете Министров СССР МПК С 23с УДК 62...

190757

Способ получения тонких пленок

ОП ИСАЙ ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 2 54304 Союз Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства ¹ Кл. 48 о, 15, 00 Заявлено 17.V.1966 (Ле 1076099/22-1) с,присоединением заявки ¹ Приоритет Опубликовано 07.Х.1969. Бюллетень ¹ 31 Дата опубликования описания 5.III.1970 МПК С 23с Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров С...

254304

Устройство для катодного распыления

29GO65 Союз Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 25Х!1.1969 (№ 1351308/26-9) МПК С 23с 15/00 с присоединением заявки № Приоритет Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР "ДК 621.793.73 (088.8) Опубликовано 22.Х11.1970. Бюллетень № 2 за 1971 Дата опубликования описания 22.II.1971 Авторы изобрете шя Б. А. Алекс...

290065

Устройство для ионного напыления пленок

ОЙИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 2977Î9 Союз Соеетских Социалистических Респтблик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 24.1Х.1969 (№ 1362054/26-9) с присоединением заявки № Приоритет Опуоликовано 11 III.1971. Бюллетень № 10 Дата опубликования описания 18.V.1971.ЧПК С 32с 15/00 Номитет по делам изобретений и открытий при Сосете Министров СССР УДК 539.2...

297709

Устройство для катодного распыления

то/;, ОП ИСАН ИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 3I5723 Свита Советских Социалистических Республик Зависимое от авт. свидетельства № МПК С 23с 15/00 Заявлено 23.Xll.1969 (№ 1387826/26-9) с присоединением заявки ¹ Приоритет Опубликовано 01.Х.1971. Бюллетень № 29 Дата опубликования описания 15.XI.1971 Комитет по делаь; изобретений и открытий при Совете Мииистрав ССС...

315723

1вдтентно-текшпег:чет.?

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сома Советскик Содиалнстикесккх Республик мил, Зависимое от авт. свидетельства №вЂ” Заявлено 24.|Х.1971 (№ 1699796/22-1) с присоединением заявки №вЂ” ПриоритетвЂ” Опубликовано 23.V.1973. Бюллетень ¹ 23 Дата опубликования описаш я 14Л П1.1973 ;М. Кл. С 23с 15/00 Номитет по делам наобретеиий н открытий прн Совете Министров...

382772

Устройство для катодного распыления

% L """"" Са-в t ;;- - l(ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ СТВУ Союз Советских Социалистических Ресоуолик Зависимое от авт. свидетельства ¹вЂ” Л!. Кл. С 23с 15, 00 Заявлено 29.1Ч.1971 (¹ 1650489 22-1) с присоединением заявки №вЂ” Комитет по делам изобретвиий и открытий при Совете 1т1икистров СССР ПриоритетвЂ” Опубликовано 23.Ч.1973. Бюллетень № 23 Дата опубликов...

382773

Устройство для катодного распыления

О П И С А Н И Е 38806I ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социнпистицюских 1>аспубпик Зависимое от авт. свидетельства № М. Кл. С 23с 15/00 Зая??ле??о 01.VIil.1970 (№ 1157005/26-9) с присоединением заявки № Приаритет Опубликовано 22.VI.1973. Бюллетень № 28 Дата опубликования описания 10.Х.1973 Государственный комитет Совета Министров СССР ое делам нао...

388061

Устройство для катодного распыления

>xi .. ОП ЙСсАНИЕ ИЗОБРЕТЕ-Н ИЯ Союз Советск гх Социалистических Уесвубпик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от а(вт. свидетельства № 273616 М,Кл. С 23с 15/00 Заявлено ОЗ,V.1971 (¹ 1652680/22-1) при(о((и((си;.(с1(з((iгвкн ¹ вЂ”вЂ” HpнорнтетвЂ” Опубликовано 29.Н11.1973. Бю.плетень ¹ 36 Дата опубл((кованкя описания 17.1.!974 Государстввииь(й иоиитет Совета Министров СССР...

396451

Устройство для катодного распыления материалов

о 0 Г1 Я;С-А Н И Е 405215 И3ОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик К ЙАТВНТУ 3dвнспмыЙ от патента №вЂ” М Кч С 23с 15 ОО.Заявлено 04.Vll.1971 (№ 1659441/22-1) Приоритет 10.VI1.1970, № 7026730, Франция государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Опубликовано 22.Х.1973, Бюллетень № 44 УДК 621.793 12.002.51 (ОЫг) Дата опубликован...

405215

Способ получения покрытий в вакууме

Способ получения покрытия в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями. Изобретение относится...

908113

Устройство возбуждения дугового разряда в вакууме

1. УСТРОЙСТВО ВОЗБУЛЩЕНИЯ ДУГОВОГО РАЗРЯДА В ВАКУУМЕ, содержащее последовательно расположенные катод , изолятор и поджигающий электрод, отлича-ющееся тем, что, с целью продления срока службы и повышения надежности работы, оно снабжеHd прикатодным электродом, размещенным между kaтoдoм и изолятором, 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что.прикатодный электрод выполнен из немаг...

1053525

Импульсный генератор углеродной плазмы

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (21) 3375633/21. (22) 05.01.82 (46) 30.09.92. Бюл. N 36 (72) Г. К. Дмитриев, А. И. Маслов, В. И. Головин,. В. П. Гончаренко, А. Я. Колпаков и М,И.Пикуль (53) 621.793.14(088.8) (56) Приборы и техника эксперимента, 1979,...

1062308

Установка для нанесения покрытий в вакууме

(19)SU(11)1066230(13)A1(51) МПК 6 C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к области получения тонких пленок, а именно к установкам для вакуумной обработки изделий, в частности для многослойного катодного ра...

1066230

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПО,КРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, со.л,ерж,зщее рас ,.. - V Изобретение .относится к нанесению покрытий 8 вакууме и может найти применение в микроэлектронике, машиностроении, оптике. Известно устройство для нанесения по:крытий путем конденсации ионизированных частиц, из.влечеичых из плазмы с помощью градиента магнитного поля. Недостатком извЭстного устройства--явля .е...

1074145

Электродуговой испаритель

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроизолированным экраном,- и заземленный фланец, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы он снабжен дополнительным прианодкым экраном и изолятором, размещенными прикатодным экраном и фланцем испарителя. ((9) ())) СООЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК И))4 С 23 С 14 36....

1075748

Электродуговой испаритель проводящих материалов

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ПРОВОДЯЩИХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий расходуемый катод из испаряемого материала , анод-камеру, поджигающий электрод и источник электропитания, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей испарителя, он снабжен электроизолированными тиглями , размещенными в аноде-камере, и дополнительными источниками электропитания , положительный...

1075751

Электродуговой испаритель

ЭЛЕКТРОДУГОЮЙ ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий расходуемый катод С токовводом , электростатический экран и систему поджига, выполненную в вцде поджигающего электрода, контактирующего с pacxoдye aIM катодом через изолятор , отличающийся тем, что, с целью повьшения надежности работы , сисчема поджига снабжена стойкой , выполненной из немагнитного электропроводящего материала, установленной н...

1078957

Устройство для ионно-плазменного распыления материалов в вакууме

(19)SU(11)1240076(13)A1(51) МПК 6 C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, а именно к устройствам для ионно-плазменного распыления диэлектрических матери...

1240076

Устройство для нанесения пленок ионно-плазменным распылением сегнетоэлектрических материалов в вакууме

(19)SU(11)1271132(13)A1(51) МПК 6 C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме, а именно устройств ионно-плазменного распыл...

1271132

Способ изготовления сегнетокерамической мишени

(19)SU(11)1274339(13)A1(51) МПК 6 C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме путем ионного распыления мишеней, а именно, к способам изготовления мишеней. Целью изобре...

1274339

Способ получения пленок химических соединений

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения защитных покрытий и пленочных элементов интегральных микросхем. Цель изобретения - повышение воспроизводимости свойств пленок. Для осаждения пленок нитрида кремния распыляли мишень из монокристаллического кремния. Магнетронным источником устанавливали ток разряда 1,5 А. В процессе очистки в среде а...

1297504

Способ изготовления сегнетокерамической мишени

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме путем ионного распыления мишеней. Цель изобретения повышение долговечности мишени достигается путем равномерной обработки участков материала мишени током в процессе ее изготовления. Для этого пропускают ток поочередно через участки металлизации, что позволяет устранить неоднородность в структуре керамики. По окончании обработки...

1300975

Способ изготовления сегнетокерамической мишени

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и изготовления сегнетокерамических мишеней, распыляемых ионной бомбардировкой в вакууме. Цель изобретения повышение производительности изготовления мишени достигается путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда. Для этого обработку заготовки током разряда в вакууме проводя...

1300976

C23C14/36 - диодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество)

Патенты в этой категории